@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00012789, author = {碓井, 節夫 and Usui, Setsuo}, month = {}, note = {1988, 【要旨】}, title = {グロー放電法で作成した水素化シリコン膜の高特性化の研究}, year = {1989} }