@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00012776, author = {生田, 一之 and Ikuta, Kazuyuki}, month = {}, note = {1995, 【要旨】}, title = {走査型トンネル顕微鏡を用いたSi-H系薄膜の成長初期過程に関する研究}, year = {1995} }