WEKO3
アイテム / A numerically controlled polishing approach for the fabrication of silicon-on-insulator / B0907
B0907
ファイル | ライセンス |
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B0907.pdf (124.5 kB) sha256 3b9e2f40a35326bba7aa22073dfac70e454d0cf4870b8fc9b8b9be022ac82f68 |
公開日 | 2007-12-03 | |||||
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ファイル名 | B0907.pdf | |||||
本文URL | https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/record/12766/files/B0907.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | abstract | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 124.5 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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