@misc{oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00012533,
 author = {唐橋, 一浩 and Karahashi, Kazuhiro},
 month = {},
 note = {1996, 【要旨】},
 title = {シリコン表面における塩素およびフッ素の反応に関する研究},
 year = {1996}
}