2024-03-29T00:07:26Z
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/oai
oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00008781
2023-04-21T04:55:08Z
3:233:244
高密度電子流に誘起される原子移動現象に関する研究
近藤, 誠一
35912
Kondo, Seiichi
筑波大学
University of Tsukuba
博士(工学)
Doctor of Philosophy in Engineering
近年の半導体素子の設計・製造技術の進歩は目覚ましいものがあり、民生機器は勿論、通信・情報処理や各種の産業機器といった極めて広範囲で多様な使用条件のもとで用いられている。さらに、数百万~数千万素子をシリコン基板 ...
1998
doctoral thesis
1998
1998-07-24
application/pdf
application/pdf
乙第1437号
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/record/8781/files/B1437.pdf
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/record/8781/files/1.pdf
jpn
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