2024-03-29T10:06:01Z
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/oai
oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00051170
2023-05-15T08:11:17Z
3:233:244
ECRプラズマ流を用いた高精度加工技術の研究
神, 好人
ジン, ヨシト
open access
2018
この博士論文は、全文公表に適さないやむを得ない事由があり要約のみを公表していましたが、解消したため、2023年(令和5年)5月15日に全文を公表しました。
2019
jpn
doctoral thesis
https://doi.org/10.15068/0000051170
http://hdl.handle.net/2241/00156626
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/records/51170
10.15068/0000051170
甲第8961号
博士(工学)
Doctor of Philosophy in Engineering
2019-03-25
12102
筑波大学
University of Tsukuba
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/record/51170/files/DA08961.pdf
application/pdf
14.5 MB
2023-05-15