2024-03-29T10:25:53Z
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/oai
oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00013027
2023-06-12T01:38:59Z
3:267:274
Ti-Ni-Pd形状記憶スパッタ薄膜の開発とマイクロアクチュエータへの応用
奥津, 和俊
Okutsu, Kazutoshi
open access
2003
【要旨】
2004
jpn
thesis
http://hdl.handle.net/2241/3159
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/records/13027
甲第3403号
博士(工学)
Doctor of Philosophy in Engineering
2004-03-25
12102
筑波大学
University of Tsukuba
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/record/13027/files/A3403.pdf
application/pdf
173.9 kB