2024-03-28T10:57:29Z
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/oai
oai:tsukuba.repo.nii.ac.jp:00012533
2023-06-12T01:16:19Z
3:267:274
シリコン表面における塩素およびフッ素の反応に関する研究
唐橋, 一浩
Karahashi, Kazuhiro
open access
1996
【要旨】
1996
jpn
thesis
http://hdl.handle.net/2241/2618
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/records/12533
乙第1211号
博士(工学)
Doctor of Philosophy in Engineering
1996-07-25
12102
筑波大学
University of Tsukuba
https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/record/12533/files/B1211.pdf
application/pdf
85.7 kB